窒化アルミニウム基焼結体及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143464
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335173
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】耐プラズマ性に優れ、体積固有抵抗値の温度依存性が緩和され、静電チャック部材等の半導体製造装置用の部材に好適に用いられる窒化アルミニウム基焼結体、及びこのような窒化アルミニウム基焼結体を、安価に、生産性よく、容易に製造することができる製造方法を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム基焼結体として、炭化珪素粉末と窒化アルミニウム粉末を、助剤無添加で焼結してなり、炭化珪素が0.1〜20重量%含まれ、平均結晶粒径が20μm以下であるものを用い、窒化アルミニウム基焼結体の製造方法として、プラズマCVD法により気相合成された平均粒子径が0.1μm以下の炭化珪素粉末0.1〜20重量%と、窒化アルミニウム粉末99.9〜80重量%を含む混合粉末を成形し、1700°C〜2300°Cの温度で焼結する方法を用いる。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム粉末と炭化珪素粉末を、助剤無添加で焼結してなる窒化アルミニウム基焼結体であって、炭化珪素が0.1〜20重量%含まれ、平均結晶粒径が20μm以下であることを特徴とする窒化アルミニウム基焼結体。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-256658
特開平2-204363
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-237115 出願人：京セラ株式会社

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