特許

J-GLOBAL ID：200903086216186033

炭素膜及びその製造方法

発明者： 山下 信樹 ,  舩山 正宏 ,  渡辺 俊哉
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-064295
公開番号（公開出願番号）：特開2003-268531
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 高硬度を有するとともに高潤滑性をも有する高性能な炭素膜、及びその製造方法を提供する。【解決手段】 炭素膜Aの構成を、アモルファス構造の炭素膜からなる硬質部1の表面の所定部分に、硬質部1をグラファイト化した潤滑部3が形成されるようにした。

請求項（抜粋）：

アモルファス構造の炭素膜からなる硬質炭素膜の表面の所定部分に、該硬質炭素膜をグラファイト化した潤滑部が形成されていることを特徴とする炭素膜。

IPC (3件)：

C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  F16C 33/16

FI (3件)：

C23C 14/06 F ,  C23C 16/26 ,  F16C 33/16

Fターム (16件)：

3J011PA02 ,  3J011QA04 ,  3J011SE05 ,  4K029BA34 ,  4K029BB10 ,  4K029BC00 ,  4K029BD04 ,  4K029EA09 ,  4K029GA01 ,  4K030BA27 ,  4K030BB05 ,  4K030DA09 ,  4K030FA01 ,  4K030JA16 ,  4K030LA01 ,  4K030LA23