特許

J-GLOBAL ID：200903086222025009

走査トンネル顕微鏡

発明者： 北村真一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325212
公開番号（公開出願番号）：特開平6-176732
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 STM像と同視野のSEM像を高分解能で観察する。【構成】 3次元走査駆動されるスキャナの先端に設けられた探針と試料間に電圧を印加し、トンネル電流が一定になるように探針を移動制御し、制御信号から走査トンネル顕微鏡像を得るようにした走査トンネル顕微鏡において、前記探針と試料間に印加する電圧を上昇させたときに試料から放出される二次電子を検出する二次電子検出器を備え、走査トンネル顕微鏡像と同視野の二次電子像を得るようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

3次元走査駆動されるスキャナの先端に設けられた探針と試料間に電圧を印加し、トンネル電流が一定になるように探針を移動制御し、制御信号から走査トンネル顕微鏡像を得るようにした走査トンネル顕微鏡において、前記探針と試料間に印加する電圧を上昇させたときに試料から放出される二次電子を検出する二次電子検出器を備え、走査トンネル顕微鏡像と同視野の二次電子像を得るようにしたことを特徴とする走査トンネル顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  G01B 7/34

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-285005
  
• 特開昭63-298951
  
• 特開平3-081941