特許
J-GLOBAL ID：200903086224928910
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112157
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305274
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 アライメントマークの位置のばらつきが大きいワークであっても、ワーク上の2個所のアライメントマークを検出できるようにすること。【解決手段】 帯状ワークWを搬送移動して、帯状ワーク上のワークマークWAMを、2台のアライメントユニットAUのアライメント顕微鏡により検出しマスクMとワークWの位置合わせを行ってマスクパターンをワークW上に露光する。上記アライメントに際し、2個のアライメント顕微鏡のうちのいずれの顕微鏡の視野内にもワークマークWAMが入らないとき、制御部20に設けられたアライメントマーク検出手段21により、ワークWを渦巻き状に移動させワークマークWAMを検出する。そして、2個のアライメント顕微鏡のうちの少なくとも一つの顕微鏡の視野内にワークマークWAMが入っている場合には他方の顕微鏡の視野内に他方のワークマークWAMが入るようにワークWを回転・移動させる。
請求項（抜粋）：
2個所に設けられたワーク上のアライメントマークを、対応する2個の顕微鏡によって検出し、マスクとワークの位置合わせを行ってマスクパターンをワーク上に露光する露光装置であって、上記露光装置は、上記顕微鏡によるアライメントマークの検出に際し、2個の顕微鏡のうちの少なくとも一つの顕微鏡の視野内にアライメントマークが入らないときに起動されるアライメントマーク検出手段を備え、上記アライメントマーク検出手段は、上記2個の顕微鏡のいずれの顕微鏡の視野内にもアライメントマークが入らないとき、上記顕微鏡の視野内に少なくとも一つのアライメントマークが入るように、ワークを、マスクと平行な面において直交する2方向に順次移動させアライメントマークを探索する第1の手段と、上記2個の顕微鏡のいずれか一方の顕微鏡の視野内に一方のアライメントマークが入っているとき、他方の顕微鏡の視野内に他方のアライメントマークが入るようにワークを回転・移動させる第2の手段を備えていることを特徴とするアライメントマーク検出機能を備えた露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 501
, G03F 9/00
G03F 7/20 501
, G03F 9/00 Z
2H097DB12
, 2H097GB00
, 2H097KA03
, 2H097KA13
, 2H097KA20
