特許

J-GLOBAL ID：200903086243382790

試料台、反射鏡保持装置及び露光装置

発明者： 大友 俊弥
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086158
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283398
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 反射鏡の変形を軽減できる反射鏡保持機構を提供する。【解決手段】 本発明によれば、反射鏡(112)と反射鏡保持機構(118)との間に高剛性部材(200)が介装される。その結果、接触部に生じる反力(204)が分散し、反射鏡の変形量(傾き)が軽減され、反射鏡の面精度の向上が図れる。

請求項（抜粋）：

光ビームを反射する平面を備えた反射部材を、該平面が球面状の接触部に当接するように押圧して保持する試料台であって、前記平面と前記接触部との間に、前記平面をなす材料よりも高い剛性を有する剛性部材を設けたことを特徴とする、試料台。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/182 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/68 K ,  G02B 7/18 Z ,  H01L 21/30 503 E