ドア付きウェハーエンクロージャ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田英彦 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-505078
公開番号（公開出願番号）：特表2001-512288
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】ウェハー用のシール可能なエンクロージャは、最小限の可動部材を利用した容易にアクセスできかつ分解することのできるラッチ機構(60)を備えたドア(36)を有している。このドア(36)はカム部材(80)を備えたエンクロージャを有しており、カム部材はポスト(110)の上で回転可能で、一対のラッチ用アーム(82)と係合する。ドア(36)が前部側ドアか底部ドアかによって、ラッチ用アームは、上方及び下方へ、あるいは前方及び後方へ伸びたり後退したり、移動したりする。ラッチ用アーム(82)の移動は、ラッチ用アーム(82)のカムフォロワ部分(136)をカム部材(80)に対して軸方向に、また半径方向に移動させるように形成されたカム部材(80)のカム部分(100)によって行われる。ラッチ用アーム(82)はエンクロージャ(56)の支点(170)の上で旋回する。ラッチ機構(60)はパネルを介してアクセス可能であり、このパネルは、ドアエンクロージャ(56)の内部端壁(55)の上に設けられた溝(198)と協働するパネル(180)に一体化された戻り止めによって取り付けられる。

請求項（抜粋）：

容器部分を有し、該容器部分が、開口した内部と、開口側を限定するほぼ四角形のドアフレーム部分とを有し、該ドアフレーム部分が、前記開口側に関して互いに反対側に配置された少なくとも二つのラッチレシーバを有し、協働するドアが、ドアフレーム部分へ挿入できるような寸法の外側周辺部を有するドアエンクロージャを有し、前記ドア周辺部が、前記ドアフレーム部分の前記ラッチレシーバに対応した少なくとも二つの開口部を有する、半導体ウェハーのためのシール可能なエンクロージャ用のドアのための改良されたラッチ機構であって、当該ラッチ機構は、 a)一体化されたラッチ用アームを有し、該ラッチ用アームが、一端に”S”字形状のカムフォロワ部分を、また他端にラッチ部分を有しており、前記カムフォロワ部分が、ほぼ半径方向内向きの第1のカム係合面と、該第1のカム係合面と対向するほぼ半径方向外向きの第1の補足的なカム係合面と、ほぼ軸方向上方を向いた第2のカム係合面と、ほぼ軸方向下方を向いた第2の補足的なカム係合面とを有し、これらの面がすべて前記S字形状のカムフォロワ部分の上に配置されており、 b)回転可能なカム部材を有し、該カム部材が、前記ドアエンクロージャの内部において該ドアエンクロージャへ回転可能な状態で取り付けられていて、前記ドアの外側から回転することができ、また前記カム部材が、前記S字形状のカムフォロワの前記第2のカム係合面と前記第2の補足的なカム係合面の両方へ摺動的に係合してこれらと協働するほぼ軸方向を向いた一対のカム面を有しており、前記カム部材がさらに、前記S字形状のカムフォロワの前記第1のカム係合面と前記第1の補足的なカム係合面へ摺動的に係合してこれらと協働する一対のほぼ半径方向を向いたカム面と反対方向を向いたカム面とを有し、これら一対のほぼ半径方向を向いた面と、前記一対のほぼ軸方向を向いた面との組合せにより、前記S字形状のカムフォロワ部分を係合し捕捉するラッチ機構。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 V , B65D 85/38 R

Fターム (16件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA02 , 3E096DA05 , 3E096DA17 , 3E096DA30 , 3E096GA07 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031DA09 , 5F031EA02 , 5F031EA11 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

特表平4-505234

審査官引用 (3件)

特表平4-505234
特表平4-505234
特表平4-505234

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