特許

J-GLOBAL ID：200903086250587780

金属部材のイオン窒化方法

発明者： 石井 芳朗 ,  柳沼 良和
出願人/特許権者： 株式会社ライムズ ,  住友金属鉱山株式会社 ,  日本電子工業株式会社 ,  日本コーティングセンター株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-188913
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035053
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】金属部材の表面に金属窒化物の化合物層を効率的に形成するとともに、化合物層と窒素原子の拡散層との相乗効果により硬度を高めることができるイオン窒化方法の提供。【構成】金属部材を所定の温度に保持し、アンモニアガスと水素ガス等の雰囲気下でグロー放電を行いイオン窒化する方法において、グロー放電の発光分光分析によりNHラジカル/窒素分子イオン(N2+)の発光強度比が1/5以上で10/1未満となるプラズマ状態でイオン窒化する。

請求項（抜粋）：

金属部材を300〜650°Cの温度に保持し、アンモニアガスと水素ガスを用い、金属部材の表面に0.001〜2.0 mA/cm2 の電流密度のグロー放電を行いイオン窒化する金属部材のイオン窒化方法において、該金属部材の表面近傍のグロー放電の発光分光分析を行い、NHラジカルの発光強度INHと窒素分子イオン(N2+)の発光強度I N2 + の比(INH/I N2 + )が1/5以上で10/1未満となるプラズマ状態でイオン窒化することを特徴とする金属部材のイオン窒化方法。