酸化皮膜の厚さ測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-259555
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104178
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】金属母材表面に形成された酸化皮膜の厚さを容易にかつ正確に測定することのできる酸化皮膜の厚さ測定方法を提供すること。【解決手段】図3(A)は、自然に形成された酸化皮膜を有するアルミニウム試料に加速電圧20kVで電子線を照射し、試料表面から二次的に発生された特性X線を計測したスペクトルである。図3(B),(C),(D)は70Å,280Å,700Åの酸化皮膜を有するアルミニウム試料から、同様に計測した特性X線スペクトルである。酸素の特性X線Kα(矢印aで示すピーク)の強度は、酸化皮膜の厚さと良好な対応関係を有する。そこで、この対応関係から検量線を作成し、未知のアルミニウム試料から検出した特性X線Kαの強度に基づきその酸化皮膜の厚さを算出する。

請求項（抜粋）：

金属母材表面に形成された酸化皮膜の厚さを測定する方法であって、被検体に所定の加速電圧で電子線を照射し、上記被検体表面から二次的に発生される酸素の特性X線Kαの強度を計測し、該計測された強度に基づき上記被検体の酸化皮膜の厚さを算出することを特徴とする酸化皮膜の厚さ測定方法。

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