特許

J-GLOBAL ID：200903086252976393

被処理体移載方法および熱処理方法

発明者： 坂本 浩一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027647
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231788
出願日： 2001年02月05日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】 移載機構のフォークの最小ピッチに依存することなく保持部のピッチを狭くすることができ、保持具の長さや熱処理炉の炉長を伸ばすことなく大幅な処理枚数の向上が図れる被処理体移載方法を提供する。【解決手段】 複数枚の被処理体wを移載するためのピッチ変換が可能な複数枚のフォーク17を有する移載機構16を用いて該フォーク17の最小ピッチよりも狭いピッチで被処理体wを保持するための多数の保持部27を有する保持具13に被処理体wを移載する方法であって、前記移載機構16のフォーク17のピッチPfを前記保持部27のピッチPbの数倍に設定し、前記保持具13の保持部27に対して移載機構16により被処理体wを複数枚ずつ順に位置をずらして移載する。

請求項（抜粋）：

複数枚の被処理体を移載するためのピッチ変換が可能な複数枚のフォークを有する移載機構を用いて該フォークの最小ピッチよりも狭いピッチで被処理体を保持するための多数の保持部を有する保持具に被処理体を移載する方法であって、前記移載機構のフォークのピッチを前記保持部のピッチの数倍に設定し、前記保持具の保持部に対して移載機構により被処理体を複数枚ずつ順に位置をずらして移載することを特徴とする被処理体移載方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (6件)：

H01L 21/68 D ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 N ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 A

Fターム (26件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA25 ,  5F031GA03 ,  5F031GA35 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA65 ,  5F031HA67 ,  5F031MA13 ,  5F031MA28 ,  5F031PA02 ,  5F031PA11 ,  5F045BB02 ,  5F045BB08 ,  5F045DP19 ,  5F045EJ02 ,  5F045EK25 ,  5F045EM08 ,  5F045EN04