特許
J-GLOBAL ID：200903086255034240
流量制御系の異常検知装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-301958
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159825
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 コントロールループを構成する装置の異常の検出が可能で、流量測定の信頼性が向上でき、メンテナンスが容易な流量制御系の異常検知装置を提供する。【構成】 管路と、管路の流量を検出する検出端と、検出端の出力が入力されるコントローラと、コントローラの制御信号により操作され管路の流量を操作する操作端とを具備する流量制御系の異常検知装置において、操作端よりコントロールループの上流側の検出端までの間に設けられ所要時に伝送信号を変化させるチェック信号を出力するチェック信号発信手段と、操作端よりコントロールループの上流側の検出端までの間に設けられチェック信号に基づく測定信号の変化を検出し所定の基準値と比較してコントロールループを構成する装置の異常を検出し検知信号を発する診断手段とを具備したことを特徴とする流量制御系の異常検知装置である。
請求項（抜粋）：
測定流体が流れる管路と、該管路の流量を検出する検出端と、該検出端の出力が入力される制御用のコントローラと、該コントローラの制御信号により操作され前記管路の流量を操作する操作端とを具備する流量制御系の異常検知装置において、前記操作端よりコントロールループの上流側の前記検出端までの間に設けられ所要時に伝送信号を変化させるチェック信号を出力するチェック信号発信手段と、前記操作端より前記コントロールループの上流側の前記検出端までの間に設けられ前記チェック信号に基づく測定信号の変化を検出し所定の基準値と比較して前記コントロールループを構成する装置の異常を検出し検知信号を発する診断手段とを具備したことを特徴とする流量制御系の異常検知装置。
IPC (3件)：
G01F 1/00
, G01F 1/34
, G05D 7/06
