特許

J-GLOBAL ID：200903086272342544

電子放出陰極及びその製造方法並びにその電子放出陰極を用いた電界放出型ディスプレイ

発明者： 柿沼 伸明 ,  西川 滋 ,  別井 圭一 ,  井上 和則 ,  中谷 忠司
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-147915
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332167
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤモンド粒子とカソード電極との電気的接触を改善することにより、低電圧かつ高電流の電子を放出し、またダイヤモンド粒子のカソード電極からの離脱を防止する。【解決手段】 カソード電極12上に多数のダイヤモンド粒子13が付着され、ダイヤモンド粒子13の頂部を露出させた状態でITO又はATOからなる電気伝導層17がカソード電極12上に形成される。これらのダイヤモンド粒子13の表面は水素終端化されることが好ましい。

請求項（抜粋）：

カソード電極(12)上に付着された多数のダイヤモンド粒子(13)と、前記ダイヤモンド粒子(13)の頂部を露出させた状態で前記カソード電極(12)上に形成されITO又はATOからなる電気伝導層(17)とを備えた電子放出陰極。

IPC (4件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F

Fターム (6件)：

5C031DD17 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12