特許
J-GLOBAL ID：200903086273617903
電子線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-197477
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019100
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 電子のエネルギー範囲の広い電子線照射装置を得ることを目的とする。【構成】 電子のエネルギーを吸収するエネルギー吸収体7を真空ダクト31内に上下に移動自在に設け、またこのエネルギー吸収体7により方向分散した電子を磁界により収束させる収束電磁石8を真空ダクト31の周囲に設けたものである。
請求項（抜粋）：
電子を放出する電子銃と、多数段設けられた空胴にマイクロ波を入力することにより電界を発生させ、この電界により電子銃より放出された電子を加速させる加速管と、上記加速管の出口に取り付けられた真空ダクト内に上下に移動自在に設けられ、電子のエネルギーを吸収するエネルギー吸収体と、上記真空ダクトの周囲に設けられ、上記エネルギー吸収体によりエネルギーを吸収された電子の方向を磁界により収束させる収束電磁石と、上記収束電磁石の磁界により方向が収束された電子を散乱させることにより電子のエネルギーを均一化させる平坦化フィルターとを備えた電子線照射装置。
IPC (5件)：
G21K 5/04
, G21K 1/10
, G21K 3/00
, H01J 37/05
, H01J 37/141
