特許

J-GLOBAL ID：200903086274668803

液晶表示基板とその製造方法

発明者： 折付 良二 ,  廣島 實 ,  箭内 雅弘 ,  松田 正昭 ,  堀井 寿一 ,  橋本 雄一 ,  香西 甲矢夫 ,  鈴木 堅吉 ,  高畠 勝 ,  磯田 高志
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-033370
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250211
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 製造工数を大幅に低減させる。【構成】 画素電極に電圧を印加する際に、TFTのゲート電極に電圧を印加することによってそのドレイン、ソースを介してなされる液晶表示基板において、前記ゲート電極およびこのゲート電極に接続される配線層は、ゲート層および少なくともゲート絶縁膜と、a-Si膜の2層を含む順次積層体からなり、この積層体は一マスクによるエッチングによって構成されている。

請求項（抜粋）：

画素電極に電圧を印加する際に、TFTのゲート電極に電圧を印加することによってそのドレイン、ソースを介してなされる液晶表示基板において、前記ゲート電極およびこのゲート電極に接続される配線層は、ゲート層および少なくともゲート絶縁膜と、Si膜の2層を含む順次積層体からなり、この積層体は一マスクによるエッチングによって構成されていることを特徴とする液晶表示基板。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/784