特許
J-GLOBAL ID：200903086275701693
走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269268
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039560
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】本発明は、画質劣化のない良質な走査画像が得られる走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】サンプリングクロック( CLK) をカウントするカウンタ30のカウント値をX走査に応じてスポット光が光学的な中心位置を横切る度にセンサ26から出力されるセンサパルスによりラッチ31に保持して光学的走査範囲の中心位置を検出し、その中心位置と補正用レジスタ33に設定された画面内の中心画素(512画素)と比較し、この比較結果からタイミング信号発生メモリ38に与えるアドレスをズレ量分加減することにより光学的走査に対する画像表示位置を1ライン走査ごとに瞬時に補正する。
請求項（抜粋）：
試料に対し集束光を照射するとともに、該集束光を前記試料に対して2次元方向へ走査しながら前記試料での前記集束光の反射光を受光しその受光強度に応じた信号を検出するようにした走査型顕微鏡において、前記2次元方向の走査に応じた走査位置情報に基づいて光学的走査範囲中心を検出する光学的走査範囲中心検出手段と、前記2次元方向の走査に応じた検出信号を画像表示するための電気的サンプリング範囲の中心を設定するサンプリング範囲中心設定手段と、少なくとも1ライン走査ごとに前記光学的走査範囲中心検出手段により検出された光学的走査範囲の中心と前記サンプリング範囲中心設定手段に設定された電気的サンプリング範囲の中心との対応が常に一定になるように補正する補正手段とを具備したことを特徴とする走査型顕微鏡。
Fターム (7件)：
2H052AA08
, 2H052AB14
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC34
, 2H052AF25
