特許

J-GLOBAL ID：200903086278904692

ポジ型感光性組成物

発明者： 藤森 亨
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065444
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262952
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 現像欠陥の発生を低減したポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)一般式(1)で示されるモノマーから得られる特定のフルオロ脂肪族基含有重合体を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。一般式(1)においてR1は水素原子またはメチル基を表し、Xは酸素原子、イオウ原子または-N(R2)-を表し、mは1以上6以下の整数、nは2〜4の整数を表す。R2は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)下記一般式(1)で表されるモノマーに由来する繰り返し単位を含有するフルオロ脂肪族基含有重合体を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】一般式(1)においてR1は水素原子またはメチル基を表し、Xは酸素原子、イオウ原子または-N(R2)-を表し、mは1以上6以下の整数、nは2〜4の整数を表す。R2は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。

IPC (9件)：

G03F 7/004 504 ,  C08F 20/22 ,  C08F 20/38 ,  C08F 20/54 ,  C08F 20/68 ,  C08F 20/70 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/004 504 ,  C08F 20/22 ,  C08F 20/38 ,  C08F 20/54 ,  C08F 20/68 ,  C08F 20/70 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (19件)：

2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AM19P ,  4J100AM21P ,  4J100BA01P ,  4J100BB10P ,  4J100BB18P ,  4J100JA37