特許

J-GLOBAL ID：200903086286452229

ルツボ型多結晶シリコン

発明者： 中野 守 ,  遠藤 俊秀 ,  生川 満敏 ,  佐藤 力人
出願人/特許権者： 三菱マテリアルポリシリコン株式会社
代理人 (1件)： 千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-302472
公開番号（公開出願番号）：特開2003-104711
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 溶融時にシリコンロッドが浮遊ないし落下してルツボを損傷することがない多結晶シリコンを提供する。【解決手段】 あらかじめシリコンの外形をルツボ型に成形することにより、ルツボ等に供給する際に損傷を生じ難くした多結晶シリコン。

請求項（抜粋）：

多結晶シリコンのブロックまたは破砕物、またはこれらの混合物をルツボ中で加熱溶融し、ルツボ中で冷却固化することによって、外形をルツボの形状に成形したことを特徴とするルツボ型多結晶シリコン。

IPC (3件)：

C01B 33/02 ,  C03B 20/00 ,  C30B 29/06

FI (3件)：

C01B 33/02 E ,  C03B 20/00 Z ,  C30B 29/06 D

Fターム (16件)：

4G014AH08 ,  4G014AH23 ,  4G072AA01 ,  4G072BB12 ,  4G072BB20 ,  4G072GG01 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072MM38 ,  4G072NN01 ,  4G072RR13 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EC02 ,  4G077PA16