特許
J-GLOBAL ID：200903086286882312
プラズマ発生電極用成形体及びその成形方法、並びにプラズマ発生電極
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-423556
公開番号（公開出願番号）：特開2005-177644
出願日： 2003年12月19日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】生産性が高く、均一かつ安定なプラズマを発生させることが可能であるとともに、温度変化や高圧の電圧負荷による電極の破損を有効に防止し得る耐熱性に優れたプラズマ発生電極用成形体及びその成形方法、並びにプラズマ発生電極を提供する。【解決手段】平板部6の表面に櫛形状に突条部2が配設された誘電材料からなる第一の成形部材10の裏面と、平板状の誘電材料からなる第二の成形部材12との間に、導電体からなる導電膜20を介在させて圧着・一体化することにより、導電膜20が埋設された構造を有し、且つ第一の成形部材10の平板部6と突条部2とが、一体成形されたプラズマ発生電極用成形体15である。前記成形体15同士を積層し、得られた積層体の最上面に導電膜が埋設された平板状の成形体30を載置した後、焼成・一体化することによりプラズマ発生電極40を得る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
平板部の表面に櫛形状に突条部が配設された誘電材料からなる第一の成形部材の裏面と、平板状の誘電材料からなる第二の成形部材との間に、導電体からなる導電膜を介在させて圧着・一体化することにより、前記導電膜が埋設された構造を有し、且つ前記第一の成形部材の平板部と突条部とが、一体成形されたものであるプラズマ発生電極用成形体。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B01J19/08 E
, H05H1/24
, B01D53/34 129C
4D002AA08
, 4D002AA12
, 4D002AA40
, 4D002BA07
, 4D002HA10
, 4G075AA03
, 4G075AA37
, 4G075BA05
, 4G075CA47
, 4G075DA02
, 4G075EC21
, 4G075FA05
, 4G075FA12
, 4G075FC11
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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