特許

J-GLOBAL ID：200903086308582598

全プロセス集積化用プロセスレシピと調整レシピのチャンバ間同期化

発明者： クラウス-ディーター リネン ,  コリー ザーニック
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-370072
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326731
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 チャンバ間同期化を達成する信頼性の高い及び高価でない手法の提供。【解決手段】 第1チャンバ及び第2チャンバを含む集積回路製造システムにおいて、該第1チャンバ内で第1操作を含む第1レシピを行うステップ;及び該第2チャンバ内で該第1操作の終了に応答して終了する第2操作を含む第2レシピを行うステップを含むコンピュータ実行方法を用いる。

請求項（抜粋）：

第1チャンバ及び第2チャンバを含む集積回路製造システムにおいてチャンバ間同期化を達成するコンピュータ実行方法であって、該第1チャンバ内で、第1操作を含む第1レシピを行うステップ;及び該第2チャンバ内で、該第1操作の終了に応答して終了する第2操作を含む第2レシピを行うステップ:を含む方法。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  G05B 19/418 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/68 A ,  G05B 15/02 S