特許
J-GLOBAL ID：200903086309152880
ドライ真空ポンプの真空排気容量制御方法とその装置並びにドライ真空ポンプおよび半導体製造用真空処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-039371
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231381
出願日： 1992年02月26日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 真空排気容量を制御可として、ドライ真空ポンプを経済的に運転すること。【構成】 ドライ真空ポンプ1の吸気口4での実吸気圧力を検出した上、真空排気容量制御装置17で設定吸気圧力と比較し、その比較の偏差を以てインバータ7での出力周波数、したがって、ポンプ1での回転数を制御するようにしたものである。この結果、ポンプ1によって真空チャンバ9を真空排気する際には、自動圧力調整バルブは不要とされ、また、実吸気圧力を到達圧力より高い圧力で使用する場合には、回転数の低下により省エネルギ効果を期待し得るものである。
請求項（抜粋）：
高周波電源としてのインバータにより高周波電動機を介しケーシング内部にて駆動軸をステータ周りに回転駆動せしめることによって、該ケーシングの一端開口部としての吸気口から吸込まれた気体は圧縮された上、他端開口部としての排気口を介し大気圧力下に排気されるべくなしたドライ真空ポンプの真空排気容量制御方法であって、吸気口における実吸気圧力を検出した上、設定吸気圧力と比較し、該比較の偏差を以てインバータからの出力周波数を設定上下限値内で制御するようにしたドライ真空ポンプの真空排気容量制御方法。
IPC (4件)：
F04D 19/04
, F04B 49/06 341
, F04C 25/02
, H01L 21/027
