特許
J-GLOBAL ID：200903086310227860
磁気抵抗効果膜、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、及び磁気ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-207907
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124124
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【構成】 多層磁気抵抗効果膜10は、Ni-Fe合金膜からなる下層軟磁性膜2上に、Cu-Ni合金膜からなる非磁性膜3、Fe膜からなる第1の強磁性膜4、Ni膜からなる第2の強磁性膜5の3層を1組とした積層膜7が8周期積層され、この上にNi-Fe合金膜からなる上層軟磁性膜6が形成されたものである。この多層磁気抵抗効果膜10を短冊状に加工し、両端にセンス電流を流すための電極25A、25Bを配すると、磁界抵抗の変化を電圧変化として検出する素子となり、磁気ヘッド(再生ヘッド30)の感磁部31となる。【効果】 小さな磁界でも大きな磁気抵抗効果が得られ、かつ、高温下に置かれても磁気抵抗効果が劣化することがない多層磁気抵抗効果膜10が得られる。このため、この多層磁気抵抗効果膜10を用いた磁気ヘッドは、高磁場感度でヒステリシスが小さく、一層の高密度記録化と、厳しい使用条件にも対応できる高い性能を有するものとなる。
請求項（抜粋）：
強磁性膜と非磁性膜との積層膜を有する磁気抵抗効果膜において、前記強磁性膜は、Ni膜とFe膜との積層体、又はNi-Fe系合金膜からなり、前記非磁性膜はCu-Ni合金膜からなることを特徴とする磁気抵抗効果膜。
IPC (6件)：
G11B 5/39
, G01R 33/09
, H01F 10/14
, H01F 10/30
, H01L 43/08
, H01L 43/10
