螺旋溝ラップ定盤

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-055513
公開番号（公開出願番号）：特開2002-254297
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：

【要約】【課題】ディスク状ワークの全面に常に新鮮な砥粒懸濁スラリーを均等に供給し、スラリーの利用効率を向上できるラップ定盤を提供すること。【解決手段】回転軸の一端に固着されるラップ定盤30のラップ作用面31上に螺旋溝を形成する。好適には、複数の螺旋溝32A,32Bを回転バランスが確保されるように円周方向の等角度配分で形成する。各螺旋溝の径方向内端部32N及び外端部32Gをそれぞれラップ定盤の中心空洞部31と外周に開放し、空洞部31に供給されるスラリーが内端部32Nから各螺旋溝に流入され、この螺旋溝を流動するスラリーの一部がウェーハWの加工面とラップ定盤のランド34との間に流出してラップ作用し、この流出した使用済みスラリーがラップ屑と共に螺旋溝の径方向外方にある部分から再び回収され、螺旋溝のさらに径方向外方にある部分を流動して外端部32Gから排出されるようにする。

請求項（抜粋）：

回転軸に取り付けられ薄板円盤状のワークの端面に対面しこのワーク端面との間にスラリーを供給して前記ワーク端面をラップ加工するためのラップ定盤において、この定盤の端面に形成されるラップ加工面にスラリー供給用の螺旋溝を形成し、この螺旋溝が少なくとも1回転以上まわって延びていることを特徴とする螺旋溝ラップ定盤。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , B24B 37/00 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 A , B24B 37/00 K , H01L 21/304 622 F

Fターム (5件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AC04 , 3C058CB01 , 3C058CB03

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