特許
J-GLOBAL ID:200903086313631246
半導体製造装置及びウェーハカセット移載方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三好 祥二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-247000
公開番号(公開出願番号):特開平10-074819
出願日: 1996年08月29日
公開日(公表日): 1998年03月17日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】予備カセット棚が設けられている空間での予備カセット棚設置密度の増大を可能とし、半導体製造装置内でのウェーハカセットの移載効率の向上を図り、【解決手段】カセットを収納する収納庫に対峙して設けられた予備カセット棚12と、前記収納庫と予備カセット棚間を横行、昇降し、ウェーハカセットの移載を行うカセットローダ15を有するカセット移載機とを具備し、収納されたウェーハカセットに対する前記カセットローダの進退により、或は90°回転によりウェーハカセットの授受を行う半導体製造装置に於いて、前記予備カセット棚を複数列、複数段設け、前記予備カセット棚の少なくとも1列の少なくとも1つの予備カセット棚を横行可能とする。予備カセット棚を横行可能としたので、予備カセット棚に隣接する空間をウェーハカセットの移載に必要な空間として確保できる。
請求項(抜粋):
カセットを収納する収納庫と該収納庫に対峙して設けられた予備カセット棚と、前記収納庫と予備カセット棚間を横行、昇降し、ウェーハカセットの移載を行うカセットローダを有するカセット移載機とを具備し、収納されたウェーハカセットに対する前記カセットローダの進退により、或は90°回転によりウェーハカセットの授受を行う半導体製造装置に於いて、前記予備カセット棚が複数列、複数段設けられ、前記予備カセット棚の少なくとも1列の少なくとも1つの予備カセット棚が横行可能であることを特徴とする半導体製造装置。
IPC (3件):
H01L 21/68
, B65G 1/00 535
, B65G 49/07
FI (3件):
H01L 21/68 A
, B65G 1/00 535
, B65G 49/07 D
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