運動センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044639
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230759
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 2軸以上の角速度あるいは加速度を検出する運動センサにおいて、振動体上の電極と外部回路側の電極とを総合的に接続処理する合理的な構成および更に性能向上に関する構成を提供することによって、多機能型の運動センサの実用化に寄与すること。【解決手段】十字型振動体の各脚に設けた検出あるいは励振用の圧電素子の電極の引出し線を前記振動体の1面側に設けた接続平面上のパッド群に集め、該接続平面上のパッド群を外部回路への接続起点としたこと。その他振動体上へのIC搭載、支持構造、検出軸の回転、圧電素子の一体化、振動体構造材質、3軸角速度あるいは加速度、角加速度検出手法、多機能切替え回路等の改善を含む。

請求項（抜粋）：

中央基部から一平面に平行に四方に突出する4個の片持振動脚を有する振動体を基礎とし、前記各振動脚を前記平面に垂直な方向に隣接振動脚と逆位相の屈曲振動を行うよう圧電的に励振する電極と、前記平面内に回転軸を有する回転運動に基づいて前記振動に伴うコリオリの力による前記平面内の屈曲歪みを圧電的に検出する検出電極とを設け、前記各電極の引出し線を前記振動体の1面側に設けた接続平面上のパッド群に集め、該接続平面上のパッド群を外部回路への接続起点としたことを特徴とする運動センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (6件)

振動ジャイロおよび防振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-071442 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-218914
内蔵試験回路を有する回転速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-165004 出願人：ニューエスディーインコーポレイテッド

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