特許
J-GLOBAL ID：200903086326850761
垂直型プローブカード装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-192646
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038044
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 プローブ針先端の研磨、洗浄が効率良く容易にできる垂直型プローブカード装置を得る。【解決手段】 上側ガイド板6と、上側ガイド板6に間隔をあけて対向し所定の位置に複数のガイド孔7aが形成された下側ガイド板7と、上端が上記上側ガイド板6に固着され下端が上記下側ガイド板7の上記ガイド孔7aを貫通して所定の長さ突出する複数のプローブ針5と、上記両ガイド板6、7間に介在し上記間隔を所定の値に設定できるよう形成されたガイド板位置調整手段8とで構成する。
請求項（抜粋）：
上側ガイド板と、該上側ガイド板に間隔をあけて対向し所定の位置に複数のガイド孔が形成された下側ガイド板と、上端が上記上側ガイド板に固着され下端が上記下側ガイド板の上記ガイド孔を貫通して所定の長さ突出する複数のプローブ針と、上記両ガイド板間に介在し上記間隔を所定の値に設定できるよう形成されたガイド板位置調整手段とを備えたことを特徴とする垂直型プローブカード装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
