特許

J-GLOBAL ID：200903086329594200

光学式変位センサ

発明者： 山本 英二 ,  三原 孝士
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-198318
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055423
出願日： 1993年08月10日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】極めて簡単な構成で高精度な変位測定が可能なコンパクトな光学式変位センサを提供する。【構成】垂直共振器型面発光レーザ19と外部ミラー21とが組み合わされた合共振器を備えており、レーザー光の強度変化又はミラー損失の変化は、検出手段23で検出される。検出手段は、レーザー光の強度変化を直接検出する受光素子25、あるいは、外部ミラーと垂直共振器型面発光レーザとの相対的変位により生じるミラー損失の変化を複合共振器内部のキャリア密度の変化に基づいて検出するPN接合電位差検出手段27を備える。外部ミラーから帰還するレーザー光の位相は、外部ミラーと垂直共振器型面発光レーザとの相対的な変位により決定され、レーザー光の波長の1/2に相当する変位量の周期でレーザー光出力が変動する。かかる変位量は、計数装置29及び演算装置31を介して算出される。

請求項（抜粋）：

垂直共振器型面発光レーザと、この垂直共振器型面発光レーザと組み合わされて複合共振器を構成する外部反射手段と、前記垂直共振器型面発光レーザと前記外部反射手段との間の相対的な位置変化に起因して生じるレーザ出力の周期的変化又は前記複合共振器のミラー損失の周期的変化を計測することによって、前記垂直共振器型面発光レーザと前記外部反射手段との間の相対的な位置変化を検出可能に構成された検出手段とを備えていることを特徴とする光学式変位センサ。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01D 5/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-195778
  
• 特開平4-120405
  
• 特開昭64-059107