特許

J-GLOBAL ID：200903086331755904

マイクロバルブおよびその製造方法

発明者： 高山 美知雄
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-081798
公開番号（公開出願番号）：特開2003-275999
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：

【要約】【課題】リークが少なく、流路の集積度が高いマイクロバルブを提供する。【解決手段】マイクロバルブは、基礎基板110と、基礎基板110に設けられた流路111と、流路111の内壁112,113,114の一部を形成しているダイアフラムシート101と、ダイアフラムシート101を流路111の内側に向かって膨らませて流路111の内壁に押しつけ、ダイアフラムシート101に流路111を塞がせる駆動手段とを備えている。ダイアフラムシート101は、膨らんだときの伸び分布をダイアフラムシート101にわたって有している。この伸び分布は、ダイアフラムシート101が膨らんで流路111の内壁に押しつけられたときに、ダイアフラムシート101がこの押しつけられた内壁の形状に適合するよう、設定されている。

請求項（抜粋）：

基礎基板と、この基礎基板に設けられた流路と、この流路の内壁の一部を形成しているダイアフラムシートと、このダイアフラムシートを上記流路の内側に向かって膨らませて流路の内壁に押しつけ、ダイアフラムシートに流路を塞がせる駆動手段と、を備えており、上記ダイアフラムシートは、膨らんだときの伸び分布をダイアフラムシートにわたって有しており、この伸び分布は、ダイアフラムシートが膨らんで流路の内壁に押しつけられたときに、ダイアフラムシートがこの押しつけられた内壁の形状に適合するよう、設定されていることを特徴とするマイクロバルブ。

IPC (4件)：

B81B 3/00 ,  B81C 5/00 ,  F16K 31/02 ,  F16K 31/66

FI (4件)：

B81B 3/00 ,  B81C 5/00 ,  F16K 31/02 Z ,  F16K 31/66

Fターム (14件)：

3H057AA05 ,  3H057BB02 ,  3H057BB06 ,  3H057BB32 ,  3H057BB44 ,  3H057FA12 ,  3H062AA01 ,  3H062AA11 ,  3H062BB10 ,  3H062BB33 ,  3H062CC13 ,  3H062GG01 ,  3H062GG04 ,  3H062GG06