特許

J-GLOBAL ID：200903086351816403

走査型温度顕微鏡

発明者： 石田 高弘
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141895
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325079
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 観察が容易で、かつ高い分解能でもって微細温度情報を画像表示しうる顕微鏡を提供する。【解決手段】 走査型温度顕微鏡1は、探針3と、試料台8と、探針の走査手段2とを有する。さらに、探針3の温度を検出する手段5と、検出された試料表面の温度情報を画像表示する手段7と、を具備することを特徴とする。探針の温度を検出する手段としては、温度依存性のある探針の電気抵抗を測定するものや、探針をサーモスタット構造とし探針の変形を検知するものがある。

請求項（抜粋）：

探針と、この探針の当てられる試料を載せる試料台と、探針又は試料台の走査手段と、探針の温度を検出する手段と、検出された試料表面の温度情報を画像表示する手段と、を具備することを特徴とする走査型温度顕微鏡。

IPC (3件)：

G01K 7/02 ,  G01K 7/00 381 ,  G01N 37/00

FI (3件)：

G01K 7/02 Z ,  G01K 7/00 381 Z ,  G01N 37/00 G