異物検査装置及び異物検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083883
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270328
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】例えばレチクル等の被検出物表面の異物の存在を高い精度でしかも確実に検出する。【構成】異物検査装置は、(イ)1km以上の可干渉距離を有するレーザ光を射出するレーザ光源1と、(ロ)このレーザ光で被検査物71の表面を走査する走査装置50と、(ハ)被検査物71の表面で反射・回折された光を検出する光検出装置60と、(ニ)被検査物71を載置し所定の方向に移動させるためのステージ70と、(ホ)被検査物71が配置された雰囲気を高純度不活性ガス雰囲気にするためのガス供給手段80から成る。異物検査方法は、被検査物の配置された雰囲気を高純度不活性ガス雰囲気とし、そして、被検査物を所定の方向に移動させながら、波長λを有し且つ1km以上の可干渉距離を有するレーザ光で被検査物の表面を走査し、その表面で反射・回折された光を検出することによって被検査物表面に存在する異物を検出する。

請求項（抜粋）：

(イ)1km以上の可干渉距離を有するレーザ光を射出するレーザ光源と、(ロ)該レーザ光源から射出されたレーザ光で被検査物表面を走査する走査装置と、(ハ)被検査物表面で反射・回折された光を検出する光検出装置と、(ニ)被検査物を載置し、被検査物を所定の方向に移動させるためのステージと、(ホ)被検査物が配置された雰囲気を高純度不活性ガス雰囲気にするためのガス供給手段、から成ることを特徴とする、被検査物表面に存在する異物を検出するための異物検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01N 21/47

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-216035
特開平4-025087
特開平4-324653

審査官引用 (5件)

特開平2-216035
特開平2-216035
特開平4-025087

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