特許
J-GLOBAL ID:200903086358675597
拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
豊栖 康司
, 豊栖 康弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-207253
公開番号(公開出願番号):特開2007-026885
出願日: 2005年07月15日
公開日(公表日): 2007年02月01日
要約:
【課題】撮像された高倍率画像の位置確認等を簡単かつ安価に実現する。【解決手段】拡大観察装置は、観察対象を撮像して観察像を取得するための撮像部42と、撮像部42で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部650と、観察条件設定部650で設定された像観察条件で撮像の開始を指示するための撮像開始指示部654と、撮像開始指示部654で撮像開始が指示されると、観察条件設定部650で設定された倍率で撮像部42が観察像を撮像すると共に、この倍率を基準とする複数の異なる倍率にて関連画像を取得可能な関連画像取得部とを備える。これによって、観察条件設定部650で所望の倍率に設定して観察像を撮像すると、この倍率を基準とする異なる複数の関連画像を自動的に取得できる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
観察対象を撮像して観察像を取得するための撮像部と、
前記撮像部で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部と、
前記観察条件設定部で設定された像観察条件で撮像の開始を指示するための撮像開始指示部と、
前記撮像開始指示部で撮像開始が指示されると、前記観察条件設定部で設定された倍率で前記撮像部が観察像を撮像すると共に、この倍率を基準とする複数の異なる倍率にて関連画像を取得可能な関連画像取得部と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。
IPC (3件):
H01J 37/22
, H01J 37/28
, G02B 21/36
FI (3件):
H01J37/22 502J
, H01J37/28 B
, G02B21/36
Fターム (4件):
2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
, 5C033UU10
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
特開平3-93140号公報
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拡大観察装置および映像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-034556
出願人:株式会社キーエンス
審査官引用 (11件)
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走査電子顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-029077
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
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特開昭61-032948
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走査電子顕微鏡の試料位置制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-133097
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
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