特許
J-GLOBAL ID：200903086371337200
投影露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-303682
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135120
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 マスクホルダの熱変形に伴うマスクの歪みを抑制して、パターンの投影を良好に行う。【解決手段】 マスク100は、マスクホルダ10の保持枠50,52の溝53に収容される。一定温度,一定流量の空気が、矢印Fで示すように空調装置12から供給されると、この空気は、パイプ14,吸入口58,通気路56をそれぞれ順に通って、吐出口54からマスク100に向かって吐出される。これによって、マスク100の端部が三方向から押され、保持枠50,52に対して非接触に保持されるようになる。このため、マスク100の熱は、マスクホルダ10に伝達されないようになる。吐出口54から吐出された空気は、マスク100を冷却し、マスク100の熱膨張による倍率変化も軽減される。
請求項（抜粋）：
マスクに形成されたパターンを露光対象に投影する投影露光装置において、前記マスクを、非接触で一定の姿勢に保持する保持手段を備えたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 515 F
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 503 D
