特許

J-GLOBAL ID：200903086372571575

窒化アルミニウム焼結体の製造方法および多層基板の製造方法

発明者： 大矢 洋一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-112776
公開番号（公開出願番号）：特開平7-315936
出願日： 1994年05月26日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】 常圧下、1700°C以下の焼結条件において、高い熱伝導率を有する窒化アルミニウム焼結体を得ることを目的とする。【構成】 窒化アルミニウム焼結体を製造するにおいて、焼結助剤として、Y2 O3 および少なくとも一種のIIa属元素化合物を使用して焼結を行なう。焼結助剤として添加されるIIa属元素化合物の添加量が、主原料の0.1〜1重量%であり、かつY2 O3 とIIa属元素化合物との比率が重量比で5:0.1〜4:1の範囲にあることが望ましい。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム焼結体の製造において、窒化アルミニウムの焼結助剤として、Y2 O3 および少なくとも一種のIIa属元素化合物を使用して焼結を行なうことを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。

IPC (4件)：

C04B 35/581 ,  H01L 23/12 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/46

FI (2件)：

C04B 35/58 104 F ,  H01L 23/12 D