特許

J-GLOBAL ID：200903086380042743

基板搬送装置

発明者： 柴 光明 ,  並木 淳一 ,  市村 幸雄 ,  廣瀬 秀幸 ,  内藤 ▲隆▼匡
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154747
公開番号（公開出願番号）：特開平9-002628
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】両端のみを支持した薄板の平面性を修正して搬送できるようにする。【構成】基板1の両端縁を水平に保持して回転する少なくとも一対の搬送ローラ2を有する基板搬送装置において、基板1の上面中央領域に近接配置して当該基板1の上面の空気を吸い上げる吸引口5aと、吸引口5aと基板1との間隙を一定値に保持すると共に搬送ローラ2からの基板1の浮き上がりを抑制する間隙保持ローラ5bとからなる吸引ヘッド5を備え、吸引ヘッド5により基板1の中央領域の空気を吸い上げて上方に持ち上げ、基板1を搬送ローラにより撓みなく搬送させる。

請求項（抜粋）：

基板の両端縁を水平に保持して回転する少なくとも一対の搬送ローラを有する基板搬送装置において、前記基板の上面中央領域に近接配置して当該基板の上面の空気を吸い上げる吸引口と、前記吸引口と前記基板との間隙を一定値に保持すると共に前記搬送ローラからの前記基板の浮き上がりを抑制する間隙保持ローラとからなる吸引ヘッドを備え、前記吸引ヘッドにより前記基板の中央領域の空気を吸い上げて前記基板の中央領域を上方に持ち上げ、前記基板を前記搬送ローラにより撓みなく搬送するごとく構成したことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 13/00 ,  B65G 49/06 ,  G03F 7/16 501

FI (3件)：

B65G 13/00 A ,  B65G 49/06 A ,  G03F 7/16 501