特許

J-GLOBAL ID：200903086382617662

アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物

発明者： 安藤 秀樹 ,  寺本 武郎
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  新日鐵化学株式会社
代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-258710
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070528
出願日： 1991年09月11日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 耐熱性に優れ、かつ、アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂を提供する。【構成】 本発明の感光性樹脂は、分子中にフルオレン環を有するエポキシアクリレート化合物に酸無水物を反応させて製造できるアルカリ可溶型感光性樹脂である。また、本発明の感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂をベースに他の光重合可能な非ガス状エチレン性不飽和化合物やエポキシ樹脂等を混合したものである。【効果】 本発明によれば、優れた耐熱性、基板との密着性を有し、また、高い透明性、屈折率等光学的にも優れたアルカリ可溶型感光性樹脂及びこれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物を得ることができ、プリント配線板のソルダーレジストやカラー液晶フィルターの保護膜等に好適に用いることができる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)【化1】〔但し、式中Xは-CO-Y-COOH(但し、式中Yは酸無水物の残基を示す)又は-Hを示し、-CO-Y-COOHの割合が30モル%以上であり、また、Arは下記式【化2】(但し、式中R1 〜R4 は水素原子又は低級アルキル基を示す)で表される芳香族の残基であり、R’は水素原子又はメチル基を示し、nは1から20までの整数である〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂。

IPC (7件)：

C08F220/30 MMV ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/027 ,  C08F299/02 MRS