特許
J-GLOBAL ID：200903086385761349
表面検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-082552
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286429
出願日： 2001年03月22日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 構成が簡単で、低コストで、欠陥を確実に排除できる表面検査方法及び装置を提供することを課題とする。【解決手段】 少なくとも透明な膜が形成された検査体101に対して光を照射し、検査体101からの反射光または検査体101の透過光を二次元CCD(センサ)149で受け、二次元CCD149上での光量の変化により、膜の厚さの変化を検出する表面検査方法において、光の強弱の差が最も大きくなる位置に二次元CCD149を設け、二次元CCD149の出力信号から検査体101の欠陥のグレードの判定を行う。
請求項（抜粋）：
少なくとも透明な膜が形成された検査体に対して光を照射し、前記検査体からの反射光または前記検査体の透過光をセンサで受け、該センサ上での光量の変化により、前記膜の厚さの変化を検出する表面検査方法において、光の強弱の差が最も大きくなる位置に前記センサを設け、前記センサの出力信号から前記検査体の欠陥のグレードの判定を行うことを特徴とする表面検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/06 Z
, G01N 21/896
2F065AA55
, 2F065AA61
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065BB22
, 2F065CC31
, 2F065DD04
, 2F065DD05
, 2F065DD06
, 2F065FF44
, 2F065GG02
, 2F065GG08
, 2F065GG22
, 2F065HH15
, 2F065JJ23
, 2F065JJ26
, 2F065KK01
, 2F065LL04
, 2F065LL08
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065MM01
, 2F065PP02
, 2F065PP11
, 2F065PP22
, 2F065QQ26
, 2F065QQ42
, 2F065SS04
, 2G051AA41
, 2G051AB07
, 2G051BB07
, 2G051BB09
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CD04
, 2G051EB05
, 2G051FA10
