特許

J-GLOBAL ID：200903086395666093

感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者： 田上 正人
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075063
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264980
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液にて現像が可能なネガ型パターン形成能を有するポリイミド前駆体を提供する。【解決手段】 (A)次式のポリイミド前躯体、(式中、R1 は、ベンゾフェノンテトラカルボン酸残基など、R2 は、 4,4′-ジアミノジフェニルエーテル残基など、そしてR3 、R4 はヒドロキシベンジルアルコールなどフェノール性OH基を有する芳香族化合物残基)(B)ポリイミド前躯体合成用のジフェニル(2,3-ジヒドロ-2-チオキソ-3-ベンゾオキサゾール)ホスホナートなど脱水縮合剤、(C)1,3-ビス(4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリル)ベンゼンなどオキサゾリン化合物、(D)ジフェニルヨードニウム-9,10-ジメトキシアントラセン-2-スルフォネートなど光酸発生剤および(E)溶剤からなる感光性樹脂組成物とその製造方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の繰返し単位をもつポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された4価の有機基であり、R2 は、4価の芳香族基、又は複数の芳香族環が単結合、-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2-若しくは-C(CF3 )2 -で結合された4価の芳香族基であり、そしてR3、R4 はフェノール性OH基を有する芳香族化合物の残基である)(B)上記の(A)ポリイミド前躯体を合成するにあたり用いる脱水縮合剤、(C)1以上のオキサゾリン環を有するオキサゾリン化合物、(D)活性光線によって酸性を有する官能基を発生する光酸発生剤および(E)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/353 ,  C08K 5/548 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (7件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/353 ,  C08K 5/548 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (36件)：

2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC69 ,  2H025BC86 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BJ01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA29 ,  4J002CM041 ,  4J002EB117 ,  4J002EJ017 ,  4J002EU226 ,  4J002EV047 ,  4J002EV217 ,  4J002EV237 ,  4J002EV307 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG03 ,  5F058AG09 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03