特許

J-GLOBAL ID：200903086403486830

感湿抵抗材料及びそれを用いた湿度センサ

発明者： 杉丸 史生 ,  齋木 猛彦
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 菅原 正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100510
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281606
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 長期間連続して測定雰囲気に晒されても感湿特性の経時変化が小さく、正確な湿度測定が可能な感湿抵抗材料と、それを用いた湿度センサとを提供する。【解決手段】 湿度センサ1は、セラミック基板2と、そのセラミック基板2上に形成された少なくとも2つの電極3,4と、セラミック基板1上にてそれら少なくとも2つの電極3,4にまたがるように形成された感湿抵抗層7とを有する。そして、感湿抵抗層7は、それぞれ酸化物形態で存在するNa成分と、Ti成分と、Si成分とを主体とし、Na成分をNa2O換算にて7〜25mol%と、Ti成分をTiO2換算にて10〜65mol%と、Si成分をSiO2換算にて5〜60mol%とを含有する多孔質セラミック体として構成された感湿抵抗材料からなる。該感湿抵抗材料は、湿度測定に適した電気抵抗値レベルを示し、湿度センサの湿度感知部として長期間連続使用した場合の感湿特性の経時変化も小さい。その結果、センサを長期間連続して使用した場合も、精度が高く安定した湿度測定が可能となる。

請求項（抜粋）：

それぞれ主に酸化物形態で存在するNa成分と、Ti成分と、Si成分とを主体とし、Na成分をNa2O換算にて7〜25mol%と、Ti成分をTiO2換算にて10〜65mol%と、Si成分をSiO2換算にて5〜60mol%とを含有する多孔質セラミックとして構成されたことを特徴とする感湿抵抗材料。

FI (2件)：

G01N 27/12 H ,  G01N 27/12 G