特許

J-GLOBAL ID：200903086411933692

露光装置

発明者： 下村 一郎 ,  大石 進
出願人/特許権者： 株式会社大日本科研
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-073270
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260705
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 光源からの光を有効に矩形状の光照射領域に照射することができる露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 露光装置は、基板18にフォトマスク17を介して光を照射することによりパターン露光を行うためのものであり、各々対をなす光源12a、12bおよび楕円鏡13a、13bと、複合レンズ6と、コリメートミラー16とを備える。複合レンズ6を構成する各レンズユニット3は、露光を行うべき基板18の外形にほぼ対応させて、その縦横比が6対10の矩形状の外形を有する。また、各々2個の光源12a、12bおよび楕円鏡13a、13bは、各レンズユニット3の長辺方向に沿って配置されている。そして、光源12a、12bからの光を集光した楕円鏡13a、13bの像1a、1bは、各レンズユニット3内に形成される。

請求項（抜粋）：

光源から出射された光を複合レンズを介して矩形状の光被照射物に照射する露光装置において、前記光被照射物を照射するための矩形状の光照射領域に対応する矩形状のレンズユニットを、縦横方向に複数個並列配置することにより構成された複合レンズと、前記複合レンズを構成する矩形状の各レンズユニットの長辺方向に沿って配置された複数の光源と、前記複数の光源に各々対応して配設され、前記複数の光源から出射される光を前記複合レンズに集光する複数の楕円鏡と、を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 501

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 527