特許
J-GLOBAL ID：200903086412430554
静電チャック装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-067822
公開番号（公開出願番号）：特開平5-260773
出願日： 1991年03月07日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】[目的] 小さな被吸着物を吸着する場合における絶縁層の帯電による荷電粒子線の不安定性を除去する。[構成] 複数の大きさの被吸着物を吸着面に吸着する静電チャック装置であって、前記吸着面は前記複数の大きさの被吸着物の内最小のものによっても完全におおい隠されるような形状および寸法以下とする。前記静電チャック装置は、絶縁性の基板部と該基板部上に形成された板状電極部と、該板状電極部をおおいかつ前記被吸着物が載置される吸着面を形成する絶縁層とを有し、前記板状電極部を複数の電極部分から構成し各電極部分間に吸着用電圧を印加してもよく、あるいは前記板状電極部と被吸着物との間に電圧を印加してもよい。
請求項（抜粋）：
複数の大きさの被吸着物を吸着面に吸着する静電チャック装置であって、前記吸着面が前記複数の大きさの被吸着物の内最小のものによっても完全におおい隠されることを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3件)：
H02N 13/00
, B23Q 3/15
, H01L 21/68
