特許
J-GLOBAL ID:200903086413922027

光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-125868
公開番号(公開出願番号):特開平10-321826
出願日: 1997年05月15日
公開日(公表日): 1998年12月04日
要約:
【要約】【課題】 ビデオカメラやポケットカメラの小型化を推進することのできる光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置を提供する。【解決手段】 接続ピン1を有するパッケージ2の内部に、導電性樹脂3を介して固体撮像装置4を固定する。固体撮像装置4の上面に、アルミニウム配線パッドの存在しないチップ周辺部に塗布されたギャップ材10を介してパイレックスガラス基板12を固定し、固体撮像装置4とパイレックスガラス基板12との間に空気層14を形成する。パイレックスガラス基板12の下面に、フェノール系ノボラック樹脂を1.5〜3.0μmの膜厚で塗布し、露光現像によって所望の位相格子形状にパターンニングした後、130〜240°Cの温度で加熱して光学レンズアレイ13を形成することにより、光学的ローパスフィルタ11を構成する。パッケージ2の開口端に、接着剤5を用いて石英ガラス基板6を固定する。
請求項(抜粋):
パッケージと、前記パッケージの内部に固定された固体撮像装置と、前記固体撮像装置上に所定の厚みを有し、かつ屈折率が1.5未満の物質を介して前記固体撮像装置と平行な状態で固定された第1の透明基板と、前記透明基板の下面に形成された屈折率が1.5以上の光学レンズアレイと、前記パッケージの開口端を封止する第2の透明基板とを備えた光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置。
IPC (5件):
H01L 27/14 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/18 ,  H04N 5/335
FI (5件):
H01L 27/14 D ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/18 ,  H04N 5/335 V

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