特許

J-GLOBAL ID：200903086426833503

染色されたポジ型i-線感光性混合物

発明者： トリプニートヒユラ・ヴイー・ジヤヤラーマン ,  デイビツド・ジエイ・ブゾゾヴイー
出願人/特許権者： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128740
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051508
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【構成】 溶剤中の少なくとも1種のアルカリ可溶性のバインダー樹脂;少なくとも1種の光活性化合物および効果的な吸収-増大量のBLANKOPHORFBW感光性色素の混合物からなり、組成物の全固体含有量を基準に、前記バインダー樹脂の量が約60〜95重量%であり、前記光活性化合物の量が約5〜約40重量%である、ことを特徴とする感光性組成物。【効果】 染色されたポジ型i線用レジストとして有用な感光性組成物を提供する。

請求項（抜粋）：

溶剤中の(a) 少なくとも1種のアルカリ可溶性のバインダー樹脂;(b) 少なくとも1種の光活性o-キノンジアジド化合物;および(c) 効果的な吸収-増大量の式(I)【化1】を有する感光性色素の混合物からなり、組成物の全固体含有量を基準に、前記バインダー樹脂の量が約60〜95重量%であり、前記光活性化合物の量が約5〜約40重量%であることを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 506 ,  H01L 21/027