白色ダイヤモンドの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003852
公開番号（公開出願番号）：特開平6-263590
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】実質的に非ダイヤモンド炭素が無く、高い熱伝導率を有するダイヤモンドフィルムを提供する。【構成】直流アークジェット装置を用い、基体温度を約975°C未満とし、アーク電力を約20〜40kwとし、圧力を約12トルとし、エンタルピーを30よりも大きくし、水素とメタンを供給した活性化したガスジェットからダイヤモンドフィルム蒸着し、前記メタンは濃度0.07%未満とする。こうして得られたダイヤモンド材料は切削工具、特にフライス削りに用いうる。【効果】得られた材料は透明性が高く、熱伝導率が高い。

請求項（抜粋）：

次の(1)及び(2)を含む、化学蒸着によるダイヤモンドの製造方法:(1)排気された蒸着室中に蒸着基体を置き;(2)促進ガスの及び炭素源ガスの活性化種を含む活性化ガスを発生させて蒸着室中にて基体と接触させ、この際、炭素源ガス及び促進ガスの相対的割合は、促進ガスが水素である場合に0.07%未満のメタンと実質的に等価な割合である。

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭61-158899
特開昭61-183198
特開昭63-166733

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