特許
J-GLOBAL ID：200903086433463452
真空度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045496
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239199
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 センサを組み込んだ測定対象の真空度を正確に測定することのできる真空度測定装置を提供する。【解決手段】 本発明は、測定対象に埋め込まれ、前記測定対象内部の真空度を検出し、この検出された真空度を算出する第1の算出手段(29)と、前記測定対象に埋め込まれ、前記第1の算出手段により算出された真空度に対応する振動を発生する発生手段(29)と、前記発生手段によって発生した振動に基づいて前記測定対象内部の真空度を算出する第2の算出手段(22,23))とを具備することを特徴とする真空度測定装置である。
請求項（抜粋）：
測定対象に埋め込まれ、前記測定対象内部の真空度を算出する第1の算出手段と、前記測定対象に埋め込まれ、前記第1の算出手段により算出された真空度に対応する振動を発生する発生手段と、前記発生手段によって発生した振動に基づいて前記測定対象内部の真空度を算出する第2の算出手段とを具備することを特徴とする真空度測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 21/22
, G01L 11/00 C
