特許
J-GLOBAL ID：200903086436548920
エッチング液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296238
公開番号（公開出願番号）：特開平6-146019
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 エッチング液に関し、CrとAlの同時エッチングが可能なエッチング液の実用化を目的とする。【構成】 硝酸セリウムアンモニウムと硝酸アンモニウムおよび水よりなるCrのエッチング液に塩酸を添加し、CrとAlの一括エッチングを可能にしたことを特徴としてエッチング液を構成する。
請求項（抜粋）：
硝酸セリウムアンモニウムと硝酸アンモニウムおよび水よりなるクロームのエッチング液に塩酸を添加し、クロームとアルミニウムの一括エッチングを可能にしたことを特徴とするエッチング液。
IPC (3件)：
C23F 1/20
, C23F 1/26
, H01L 21/308
