特許
J-GLOBAL ID：200903086439861638
ウェハトランスファ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136374
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321121
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】複数ウェハのキャリア間の移送が容易でかつ短時間に行うことが可能なウェハトランスファ装置を提供する。【解決手段】 複数のウェハWが所定の間隔をもって収納され、かつウェハ面に沿ってスライド可能に収納されたキャリア2Aから、複数のウェハWを収納するキャリア2Bへ複数のウェハWをスライドさせて移送するウェハトランスファ装置1であって、隣合う2枚のウェハWの外周部に同時に当接する当接部3bが先端に形成された複数のアーム3aを有し、各々のアーム3aの間に隣合う2枚のウェハWを挿入可能な空間3sが形成されている移送用アーム3と、移送用アーム3をキャリア2Aからキャリア2Bへ向けて移動させる駆動手段とを有するものとした。
請求項（抜粋）：
複数のウェハがウェハ面同士に所定の間隔をもって収納され、かつウェハ面に沿ってスライド可能に収納された一の収納体から、前記複数のウェハを収納する他の収納体へ前記複数のウェハをスライドさせて移送するウェハトランスファ装置であって、隣合う2枚のウェハの外周部に同時に当接する当接部が先端に形成された複数のアームを有し、各々のアームの間に隣合う2枚のウェハを挿入可能な空間が形成されている移送用アームと、前記移送用アームを前記一の収納体から前記他の収納体へ向けて移動させる駆動手段とを有するウェハトランスファ装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 D
, H01L 21/68 V
, B65G 49/07 F
