特許
J-GLOBAL ID：200903086442908645
ロット判定装置、方法および記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-372983
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195914
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 重検、写検および現検等の複数の検査の結果を総合的に判定して各チップの良否を判定することにより、写真製版工程のやり直しを減らし、かつ後にチップがロットアウトになるのを防ぐことが可能なロット判定装置、方法および記録媒体を提供する。【解決手段】 複数工程間の検査結果を総合判定してロットの良否を判定することにより、NGロットに歯止めをかけることが可能になり、この結果検査規格を緩めることができるため、再生率を低減することができる。さらに、判定式が満足されている間はパターン間でショートが発生しないため、後になってロットアウトが生ずることを防ぐことができる。各測定ポイントの組毎にリンクチェックを行うだけでなく、全測定ポイントの解析結果からリンクチェックを行うこともできる。判定式はより一般化させることもできる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハのロットを検査して該ロットの良否を判定するロット判定装置であって、該ロット判定装置は、前記ロット上に形成された第一のパターンの寸法と該第一のパターンの目標パターンの寸法との差に応じた値と、前記ロット上に重ねて形成された第二のパターンの寸法と該第二のパターンの目標パターンの寸法との差に応じた値と、前記第二のパターンと前記第一のパターンとを重ね合わせた場合のずれ量に応じた値と、所定の調整値とを加算する演算手段と、前記演算手段により得られた値と前記ロットに対する所定の許容値とを比較して、ロットの良否を判定する手段とを備えたことを特徴とするロット判定装置。
Fターム (4件)：
4M106AA01
, 4M106CA39
, 4M106DH01
, 4M106DH60
