マイクロ波及びホットプレスを利用して焼結された圧電セラミックス、その製造方法及びそれを用いた圧電アクチュエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志水浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368238
公開番号（公開出願番号）：特開2002-173375
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】本発明は、特に、マイクロ波及びホットプレスを利用して焼結された圧電セラミックスに関するものである。特に、素材内の気孔が極めて少なく、高い電気機械結合係数及び圧電定数を改善させた圧電セラミックスで、また、従来焼結に比べ短時間での焼結が可能となる製造方法及び製造装置を提供でき、さらに、圧電定数が大きいため圧電体アクチュエータ等への応用が可能となる圧電セラミックス、その製造方法等に関する。【解決手段】圧電体素材をマイクロ波焼結炉内の非金属金型に入れ、少なくとも焼結過程で前記素材を前記マイクロ波による焼結により昇温させるとともに、前記焼結過程で前記金型内にある前記素材をホットプレスによる加圧処理した圧電セラミックスにおいて、実質的に気孔の存在しない、高い電気機械結合係数及び圧電定数を備えたことを特徴とするマイクロ波及びホットプレスを利用して焼結した圧電セラミックス。

請求項（抜粋）：

圧電体素材をマイクロ波焼結炉内の非金属金型に入れ、少なくとも焼結過程で前記素材を前記マイクロ波による焼結により昇温させるとともに、前記焼結過程で前記金型内にある前記素材をホットプレスによる加圧処理した圧電セラミックスにおいて、実質的に気孔の存在しない、高い電気機械結合係数及び圧電定数を備えたことを特徴とするマイクロ波及びホットプレスを利用して焼結した圧電セラミックス。

IPC (4件)：

C04B 35/64 , B28B 3/00 , B28B 3/02 , C04B 35/645

FI (5件)：

B28B 3/00 C , B28B 3/02 K , B28B 3/02 P , C04B 35/64 F , C04B 35/64 N

Fターム (7件)：

4G054AA05 , 4G054AC00 , 4G054BA02 , 4G054BA43 , 4G054BB04 , 4G054BB05 , 4G054BB06

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