特許
J-GLOBAL ID:200903086447482921
反射防止膜付き光学素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
増田 達哉 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-116527
公開番号(公開出願番号):特開2000-304903
出願日: 1999年04月23日
公開日(公表日): 2000年11月02日
要約:
【要約】【課題】樹脂製基材上に優れた密着力で反射防止膜が形成された光学素子を提供する。【解決手段】樹脂製基材2と、樹脂基材2の表面に形成された反射防止膜4とを有する反射防止膜付き光学素子1において、樹脂製基材2と反射防止膜4との間に気相成膜法により形成された密着力強化層3を介在させることを特徴とする。密着力強化層3は、水素および炭素のうち少なくとも一方を5%未満含有することが好ましい。また、密着力強化層3は、プラズマCVD法により形成されることが好ましく、成膜原料として有機金属化合物を用いて形成されることが好ましい。
請求項(抜粋):
樹脂製基材と、該樹脂基材表面に形成された反射防止膜とを有する反射防止膜付き光学素子において、前記樹脂製基材と前記反射防止膜との間に気相成膜法により形成された密着力強化層を介在させることを特徴とする反射防止膜付き光学素子。
IPC (6件):
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00
, B32B 27/30
, C23C 14/08
, C23C 16/40
FI (6件):
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00 A
, B32B 27/30 A
, C23C 14/08 N
, C23C 16/40
Fターム (65件):
2K009AA08
, 2K009BB11
, 2K009BB14
, 2K009CC02
, 2K009CC03
, 2K009DD03
, 2K009DD04
, 4F100AA17B
, 4F100AA20B
, 4F100AA20C
, 4F100AA20E
, 4F100AA21D
, 4F100AA21E
, 4F100AH06
, 4F100AK01A
, 4F100AK25A
, 4F100AT00A
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100BA08
, 4F100BA08E
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100BA10E
, 4F100EH66B
, 4F100EH66C
, 4F100EH66D
, 4F100EH66E
, 4F100EJ58
, 4F100EJ64
, 4F100GB90
, 4F100JL11
, 4F100JL11B
, 4F100JN01B
, 4F100JN06
, 4F100JN06C
, 4F100JN18B
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
, 4K029AA11
, 4K029BA46
, 4K029BA48
, 4K029BB02
, 4K029BC08
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029EA01
, 4K029FA07
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA11
, 4K030AA14
, 4K030BA24
, 4K030BA27
, 4K030BA42
, 4K030BA44
, 4K030CA07
, 4K030FA01
, 4K030FA03
, 4K030HA03
, 4K030JA01
, 4K030LA01
, 4K030LA24
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