特許
J-GLOBAL ID：200903086450451379
放電励起パルスレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-258944
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102578
出願日： 1991年10月07日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 レーザ出力に変わる最適な予備電離タイミングを表わす明確な基準を示すとともに、高効率発振の得られる放電励起パルスレーザ装置を提供する。【構成】 主電極間の放電開始電圧の絶対値を最小にする予備電離タイミングと、最適な予備電離タイミングが一致することが判明した。予備電離タイミングが、放電開始電圧の絶対値を最小にする予備電離タイミング点を予備電離の継続時間中に含む範囲内にあれば、高効率なレーザ発振が得られるため、放電励起パルスレーザ装置の予備電離タイミングを、主電極間の放電開始電圧を最小とする予備電離タイミング点を予備電離の継続時間中に含む範囲に設定した。
請求項（抜粋）：
レーザガス中において主放電を起こすため相対向して設けられた第1及び第2の主電極と、第1及び第2の主電極に接続された励起回路と、第1及び第2の主電極間のレーザガスを主放電に先立ち予備電離するための予備電離源を有する放電励起パルスレーザ装置において、主電極間の放電開始電圧の絶対値を最小にする予備電離タイミング点を、予備電離の継続時間中に含むような範囲内に予備電離タイミングを設定することを特徴とする放電励起パルスレーザ装置。
引用特許：
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