特許
J-GLOBAL ID:200903086454616348
自動焦点合せ装置付き硬さ試験機とその自動焦点合せ方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
飯沼 義彦 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-355349
公開番号(公開出願番号):特開平10-185789
出願日: 1996年12月20日
公開日(公表日): 1998年07月14日
要約:
【要約】【課題】 自動焦点合せ装置付き硬さ試験機において、粗い表面の試料の計測時における合焦精度の向上をはかる。【解決手段】 対物レンズ1で得られた試料01のくぼみの映像をCCDカメラ3を介して映像信号(2値化信号)として受信し、焦点合せ装置4に合焦操作信号を出力する自動焦点合せ信号発生装置5と、ハーフミラー7を介して試料01に照明光を照射する照明灯6とを設けた硬さ試験機において、焦点合せ装置4による自動合焦動作時に照明灯6の光量を増量して試料面にハレーションを発生させ、粗い表面の「キズの信号」を消散させることにより、くぼみに対する合焦精度の向上を可能にした。
請求項(抜粋):
自動焦点合せ装置をそなえた硬さ試験機において、上記自動焦点合せ装置が、試料載置台に設けられた焦点合せ装置と、上記試料載置台に対向配置された対物レンズと、同対物レンズで得られたくぼみの映像を映像信号に変換するCCDカメラと、同CCDカメラで得られた上記映像信号を受信して上記焦点合せ装置に合焦操作信号を出力する自動焦点合せ信号発生装置とをそなえて構成され、上記試料載置台上の試料の表面を照射する照明灯が設けられ、上記自動焦点合せ信号発生装置から送信される上記合焦操作信号に基づく上記焦点合せ装置による焦点合せ動作時に、同合焦操作信号に基づき上記照明灯の照射光量を増量する制御装置が設けられていることを特徴とする、自動焦点合せ装置付き硬さ試験機。
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