特許

J-GLOBAL ID：200903086454782582

温度計測装置および温度計測方法

発明者： 白川 英一 ,  左田 信幸
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274611
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099722
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 現実に温度を把握したい基板の温度を直接かつ非接触で、しかも高精度で測定することができる温度計測装置および温度計測方法を提供すること。【解決手段】 温度計測装置60は、温度を計測しようとするウエハWの表面に施された蛍光物質61と、蛍光物質61に光を照射する光源62と、この光源62からの光を遮断した後、蛍光物質61から放出された残光を検出する検出回路66と、検出回路66の検出結果に基づいて残光の減衰率を算出し、それに基づいて前記基板の温度を求める温度計測回路67とを具備している。

請求項（抜粋）：

温度を計測しようとする基板の表面に施された蛍光物質と、前記蛍光物質に光を照射する光源と、この光源からの光を遮断した後、蛍光物質から放出された残光を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて残光の減衰率を算出し、それに基づいて前記基板の温度を求める温度計測手段とを具備することを特徴とする温度計測装置。